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       目前為止，我們已經(jīng)討論了直接測量濾光片的光學(xué)性質(zhì)，但仍有一些很難測量的物體的自然性質(zhì)，這與薄膜和基底的質(zhì)量和加工有關(guān)。對于任何光學(xué)元件，都會對基片進(jìn)行詳細(xì)的描述，如表面形狀、拋光程度、允許涂片、光潔度等，這里不應(yīng)再考慮基片。mil-e13830a在美國得到了普遍的應(yīng)用，為包括基板在內(nèi)的光學(xué)元件提供了一套有效的標(biāo)準(zhǔn)。

       可以通過存在諸如針孔、污點、濺射標(biāo)記和未涂覆區(qū)域的缺陷來測量涂層的質(zhì)量。針孔有兩個主要原因。

       首先，它們實際上有很小的未涂覆區(qū)域或一些未涂覆的區(qū)域，這將導(dǎo)致額外的光傳輸截止區(qū)，從而降低濾波器的整體性能。

       其次，對于可見光波段的濾光片來講，這些缺點會影響整體外觀。事實上，它們使外表看起來比實際表現(xiàn)更糟糕。除了簡單的外觀判斷外，還可以根據(jù)給定大小單位面積上的較大值來確定針孔的允許大小，即當(dāng)濾波器的截止值減小到給定值時針孔的數(shù)量。為了計算該值，必須假定在任何時間使用的濾波器的較小面積。很明顯，面積越小，針孔數(shù)量越小。當(dāng)然，在任何過濾器中，針孔的實際計算都要耗費大量的人力。在實際應(yīng)用中，將濾光片與參考樣品進(jìn)行比較，可見濾光片的測量往往是可視化的。

       一個簡單的燈箱固定支架可以很容易地建造，并且可以在上面放置大量的過濾器，可以與參考樣品進(jìn)行比較，以確定它是否符合要求。對于不透明基片上的濾光片，更容易測量其實際截止性能。

       一般來說，除非數(shù)量巨大，否則對光學(xué)性能的影響很小。一個重要的風(fēng)險是物質(zhì)碎片可能會掉下來，針孔也會出現(xiàn)。濺射過程有時會引起結(jié)瘤的生長并帶來一些問題，或者如果存在大量濺射碎片，則散射損失可能增加。與控制針孔一樣，這是可以控制的，但由于鏡面反射光學(xué)性能幾乎不受影響，除非濺射標(biāo)記數(shù)量很大，否則確定允許值的方式往往是主觀的。如果針孔是由濺射產(chǎn)生的，它們將被分開處理。

       一般在指標(biāo)中會說明：沒有可見的濺射軌跡，但是這種描述是非常模糊的，尤其是當(dāng)檢查員沒有光學(xué)經(jīng)驗時。當(dāng)用戶檢查員使用鏡頭輔助肉眼觀察時，用戶和制造商之間會有差異。當(dāng)它能夠采用與測試銷孔相同的精確方法時，將測試與雙方商定的參考樣品聯(lián)系起來。